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Universal系列全固态射频电源采用全固态它激式射频功放技术,工作频率范围为1MHz-400MHz,功率范围从100W至10KW,是为半导体生产制造和太阳能光伏生产制造设计的新一代功率源,主要应用包括射频溅射,反应离子刻蚀,射频偏置,多态等离子体,等离子体表面处理,射频激励CO2激光器系统和电感耦合等离子体系统等。

Universal系列全固态射频电源的优势:

1:高功率密度,在一个标准19英寸宽、3U(132mm)高的机箱内集成了高达5kW的射频输出功率,并且交流转直流的直流电源也在其中,减小了对客户使用时场地的要求,尤其在客户的应用场景为多个射频电源对腔体供电的情况下优势更为明显。

2:快速智能的驻波(VSWR)保护功能,Universal系列射频电源的驻波保护能在负载出现异常后毫秒级的时间内快速启动,可以及时的可靠的保护射频电源不因负载的异常(比如负载打火和腔体突变等)而损坏;并且在负载恢复后射频电源能在毫秒级的时间内的自动解除驻波恢复正常输出,整个过程无需人为干预。

3:高可靠性,Universal系列射频电源都有很大的输出功率余量,从而确保能长期稳定的工作。

4:先进的射频功率测量系统,Universal系列射频电源的测量系统采用V/I Sensor测量技术,此测量技术与常见的定向耦合器测量技术相比具有高敏感性、高准确性的优势,可以更精确的测量入射和反射功率。

6:先进的控制系统,Universal系列射频电源功率控制系统采用闭环AGC(Automatic Gain Control)自动增益控制算法,能精确的稳定的控制射频电源的输出功率,即使在负载失配的情况下也可以使射频电源的输出功率稳定在设定功率的正负1%范围内。采用此算法和先进的功放技术,解决了目前很多射频电源输出功率只能从最大输出功率的10%左右起调的问题,Universal系列射频电源的输出功率能从0W起调,输出功率的范围为0W至最大输出功率连续可调。

Universal 系列射频电源能通过两种方式控制

1.       本地控制(使用面板上的电位器调节以及4LED表显示)

2.       远程控制(使用Analog I/O 端口控制)

Universal 射频电源部分型号列表(点击下面的产品型号查看产品规格)

Universal 0613    13.56MHz    600W

Universal 1013    13.56MHz    1000W

Universal 2013    13.56MHz    2000W

Universal 3013    13.56MHz    3000W

Universal 5013    13.56MHz    5000W

Universal 0627    27.12MHz    600W

Universal 1027    27.12MHz    1000W

Universal 3027    27.12MHz    3000W

Universal 1040    40.68MHz    1000W

Universal 4040    40.68MHz    4000W

Universal 1060    60MHz       1000W

Universal 2060    60MHz       2000W

Universal 1081    81MHz       1000W

Universal 2081    81MHz       2000W


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