GE广能达-专业射频电源,自动匹配器和大功率功放供应商
中文版   English
产品与服务
Linear大功率射频功率放大器
Universal射频电源
·Universal 0613
·Universal 1013
·Universal 2013
·Universal 3013
·Universal 5013
·Universal 0627
·Universal 1027
·Universal 3027
·Universal 1040
·Universal 4040
·Universal 1060
·Universal 2060
·Universal 1081
·Universal 2081
Auto-Match自动匹配器
·Auto-Match 0613
·Auto-Match 1513
·Auto-Match 5013
·Auto-Match 0627
·Auto-Match 1527
·Auto-Match 3027
·Auto-Match 2040
·Auto-Match 5040
·Auto-Match 2060
·Auto-Match 2081

 

 

 
 
 
  首页 » 产品介绍

 Auto-Match自动匹配器是专门设计用来将等离子体腔体工作时的阻抗(容性或感性)自动转换成使射频源输出最大功率的状态。Auto-Match自动匹配器是设计为频率范围为1MHz至81MHz,功率范围为100W至10kW的射频源提供使其输出最大功率的阻抗。

Auto-Match自动匹配器按照使用的功率范围可分为Auto-Match 600,Auto-Match 1500,Auto-Match 5000等不同的系列。其中Auto-Match 600,Auto-Match 1500的冷却系统根据具体的使用情况可选择水冷或风冷,客户可按照具体应用情况选择;Auto-Match 5000及更高功率的自动匹配系统的冷却系统推荐使用水冷。

Auto-Match自动匹配器均有自动匹配和手动匹配两种操作方式。用户可使用面板上的切换键便捷地切换所需要的操作方式。同时,用户可以通过面板上的模拟接口来控制Auto-Match自动匹配器。

Auto-Match自动匹配器采用优化算法能根据负载阻抗来自动调节电机转速,同时能避免目前PECVD设备中普遍存在的多匹配器间的干扰问题,达到更快更精确的匹配效果,提高了Auto-Match自动匹配器的稳定性及使用寿命。

我们将会由专业技术人员为客户提供产品选型及使用指导,确保客户能正确、有效地使用Auto-Match自动匹配器。另外我们的工程技术人员会根据客户的具体要求提供频率为1MHz至250MHz的产品定做。

Auto-Match系列自动匹配器的技术特点:

1:匹配速度,即建立稳定匹配所需时间;Min:1s;Normal:5s ;Max:10s。

2:建立稳定匹配后反射功率大小;Normal:0W;Max:射频电源输出功率的1% (对于工作频率为13.56MHz和27.12MHz自动匹配器,CCP应用)

Auto-Match自动匹配器型号列表

Auto-Match 0613    13.56MHz     600W  


Auto-Match 1513    13.56MHz    1500W


Auto-Match 5013    13.56MHz    5000W


Auto-Match 0627    27.12MHz     600W


Auto-Match 1527    27.12MHz    1500W


Auto-Match 3027    27.12MHz    3000W


Auto-Match 2040    40.68MHz    2000W


Auto-Match 5040    40.68MHz    5000W


Auto-Match 2060    60MHz       2000W

                                                                                                                                                                                                                                             Auto-Match 2081    81MHz       2000W


Copyright 2010 Generator Research All Rights Resrver